压电促动器/DCSA3-R15系列是一款基于多层压电陶瓷叠堆技术的高精度驱动器件,专为微纳级位移控制与大推力场景设计。该系列采用直径15mm的紧凑结构,融合压电陶瓷叠堆与柔性铰链支撑系统,通过电压调控实现微米至纳米级位移输出,同时可产生千牛级推力,兼具高动态响应与长寿命特性。其同轴屏蔽线电极设计、可定制化移动帽端与固定底座,使其广泛应用于精密定位、振动抑制、流体控制等领域,适配光学、半导体、医疗等高端设备需求。
压电促动器
DCSA3-R15系列压电促动器以高精度、大推力与强环境适应性,重新定义了微型驱动技术的性能边界。作为专业压电陶瓷制造商,我们通过材料创新与精密工艺的深度融合,为客户提供高可靠性、快速响应的定制化解决方案,助力光学、半导体、医疗等领域的设备效能突破与技术升级。
1、结构设计
●压电叠堆核心:多层压电陶瓷片通过精密叠堆工艺集成,结合柔性铰链结构,将压电形变转化为轴向线性位移,输出方向可控(伸长或收缩)。
●模块化封装:外壳采用不锈钢或钛合金材质,内置预紧机构确保叠层受力均匀,避免分层失效,适配高频率(kHz级)动态工况。
●定制化接口:移动帽端、固定底座及连接器支持灵活定制,同轴屏蔽线引出电极,减少电磁干扰,提升信号稳定性。
2、材料特性
●高性能压电陶瓷:选用改性锆钛酸铅(PZT)基材料,压电常数d33≥600 pC/N,迟滞率<3%,温漂系数<0.02%/℃,确保高机电转换效率。
●抗疲劳柔性铰链:钛合金铰链设计刚度达0.02N/μm,抗冲击性>50G加速度,循环寿命>1×10⁸次,耐受-25℃~130℃极端环境。
●低损耗电极系统:银-钯合金电极与同轴屏蔽线结合,电阻率<0.1Ω·cm,支持高频驱动,且温升可控。
3、核心优势
●纳米级分辨率:位移分辨率达0.1nm,重复定位精度<0.15%F.S.,满足超精密光学调谐与微加工需求。
●大出力密度:推力输出可达千牛级,刚度与出力密度优于传统电磁驱动器,适配高负载场景。
●快速动态响应:机电响应时间短至80ms(满幅值阶跃),谐振频率>125Hz,支持实时振动控制与动态补偿。
●全场景适配:可选真空版本,支持真空或复杂介质环境(如油污、高湿)下的稳定运行。
4、典型应用
●精密光学:激光谐振腔动态调谐、光纤布拉格光栅(FBG)形变控制、自适应光学波前校正。
●半导体制造:晶圆探针台微力反馈、光刻机掩模台纳米定位。
●医疗设备:内窥镜精准驱动、显微手术机器人触觉反馈。
●工业自动化:高精度数控机床振动抑制、微流控芯片阀门高频控制。
●科研仪器:原子力显微镜探针驱动、超低温实验位移补偿。
5、核心保障
●全流程品控:从陶瓷流延、叠层烧结到装配测试,全程激光检测位移线性度与出力一致性,100%经过高低温循环与疲劳寿命验证。
●深度定制开发:支持位移范围、驱动电压、接口形式(螺纹/法兰)及防护等级定制,提供闭环控制或开环配置选项。
●全周期技术支持:提供动态性能仿真、驱动电路匹配、安装应力分析及失效诊断服务,24小时响应定制需求。